2022年11月15日,奥迪威在德国慕尼黑电子展(electronica?2022)发布PMUT技术产品——MEMS超声波传感器AW101,与此同时,国内线上同步发布。
慕尼黑展会现场
线上发布会邀请了中山大学物理学院余∮向阳教授,奥迪威总经理张曙光先生等作为技术交ㄨ流嘉宾,围绕PMUT技术产品“MEMS超声波传感器AW101”进行了分享。
MEMS超声波传感器:AW101
MEMS超声波传感器AW101是将压电薄膜作为功能薄膜与硅基MEMS(微机电)相集成的新一代超声波传感器产品,通过晶⊙圆级MEMS微纳工艺制造,单个芯片兼具超声波发射(Tx)与接收(Rx)复用功能。
AW101产品外观
AW101特点
AW101产品封装』尺寸为 4.2*4.5*2 mm,多物体探测距离>1m。
AW101尺寸图对比
AW101工艺
AW101产品@ 采用薄膜生长、刻蚀、一体化∏封装等MEMS制造技术,通过全自动设备生产,实现全自动封装测试;产品可用SMT工艺回流贴装,生产效率高,且保障产品一致性及≡可靠性。
AW101制造工艺
AW101性能
MEMS超声波传感器AW101可作为收发一体使用,在5Vop电压时,声压达到98dB以上。AW101的视场广至180°全景覆盖,支持180°/45°定制调节。
更多优势
1、低压驱动低功耗远距离探测
AW101可实现低压驱动低功耗声压发射,在空气中实现远距离传播,适合中长距离的障碍物探测。
2、阵列化多频工作
AW101由于超小尺寸、一致性高等特点,可以在狭小的空间内设置更多形态频率阵列(如双频率阵列◥),为应用整机提供可重构工作模式。
3、封☆装可靠性高
AW101具备IP67防护等级,可用于室内室外工业等复杂环境。